حسینی طیب حسین، آهنگرانی شاهرخ، رفیعائی سید مهدی. تأثیر همزمان اعمال لایه میانی و دوپینگ سیلیکون بر ویژگیهای ساختاری و رفتار خوردگی پوشش کربن شبهالماس ایجاد شده به روش لایهنشانی شیمیایی فاز بخار. نشریه علوم و مهندسی خوردگی. 1404; 15 (4) :95-120
URL: http://journal.ica.ir/article-1-270-fa.html
چکیده: (1 مشاهده)
چکیده
در این پژوهش، تأثیر همزمان اعمال لایه میانی سیلیکونی و دوپینگ سیلیکون بر ساختار، تنشهای داخلی و رفتار خوردگی پوششهای کربن شبهالماس (DLC) ایجاد شده بهروش لایهنشانی شیمیایی فاز بخار بهکمک پلاسما (PACVD) بررسی شد. طیفسنجی رامان نشان داد که دوپینگ سیلیکون، کسر حجمی پیوندهای sp³ را از حدود ۱۵٪ در پوشش دارای لایه میانی به ۳۰٪ در پوشش دوپشده افزایش میدهد که با افزایش چگالی و مدول الاستیک همراه است. آنالیز پراش پرتوی ایکس (XRD) و روش ویلیامسون-هال نشان داد که اعمال لایه میانی سیلیکونی، تنش پسماند را از حالت کششی به تنش فشاری تغییر میدهد و نظم ساختاری را بهبود میبخشد. نتایج آزمون خوردگی پلاریزاسیون در محلول 5/3 درصد وزنی NaCl حاکی از آن است که به کار بردن همزمان هر دو استراتژی (لایه میانی و دوپینگ)، با دانسیته جریان خوردگی A/cm2 9-10×4 و مقاومت پلاریزاسیون Ω.cm2 106×9/1، بهترین عملکرد خوردگی را نشان میدهد که ناشی از ممانعت از رشد حفرات در اثر ایجاد تنش فشاری حاصل از لایه میانی و تشکیل لایه غیرفعال SiOₓ در سطح است. بهطور کلی، به نظر میرسد که ترکیب لایه میانی سیلیکونی و دوپینگ سیلیکون، بهدلیل ایجاد پیوندهای sp³ بالاتر و کاهش تنشهای داخلی، مسیری مؤثر برای بهینهسازی خواص مکانیکی و مقاومت به خوردگی پوششهای DLC ارائه میدهد.
نوع مطالعه:
پژوهشي |
موضوع مقاله:
عمومى دریافت: 1405/7/8 | پذیرش: 1404/11/14 | انتشار: 1404/11/14